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ZEORORA® ZFL-58(C5F8) ; 酸化膜エッチングガス印刷用ページ

用途

半導体(Memory/LSI)
シリコン酸化膜のエッチング用途

特長

  • 幅広いプロセスマージン
  • 高エッチングレート、高選択比
  • バランスのとれた大気寿命、地球温暖化係数も最小

Physical Properties

  ZEORORA® ZFL-58(C5F8)
Boiling Point (℃) 27
Specific Gravity(25℃) 1.5800
Viscosity (Pa・s) 0.0038
Surface Tention (mN/m) 17.8
Specific Heat (J/(kg・K)) 1160
Latent Heat of Vaporization (kJ/kg) 118
Critical Temperature(℃) 159.9
Critical Pressure (MPa) 2.47
Flash Point (℃) No flash point
Explosive Propeties Non-explosive
Flammability Non-Flammable
Solubility for Water (g/100g water) 0.00756
Solubility of Water(g/100g solvent) 0.0072
Atmospheric Lifetime (year) 0.98
GWP (CO2=1 100 years) 90
  • 本製品の開発は、当時の通産省・工業技術院物質工学工業技術研究所との共同開発で進めてまいりました。

▶ 高選択比 SiN エッチングガス(開発中) ※

▶ 高選択比 SiO2、Low-K エッチングガス(開発中) ※

※ 詳細につきましては弊社へ直接お問い合わせください。

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